TECH INFO

Cleanrooms Types and Occupancy state (รูปแบบและสถานะต่างๆ ของห้องสะอาด)

2015-06-06

Cleanrooms Types and Occupancy state (รูปแบบและสถานะต่างๆ ของห้องสะอาด)

   ห้องสะอาดสามารถแบ่งตามรูปแบบของการไหลของอากาศตามมาตรฐาน ISO 14644-4 ได้ดังนี้

(a) แบบลมทิศทางเดียว (Unidirectional Airflow) - เป็นระบบลมที่มีลักษณะทิศทางที่ชัดเจนทิศทางเดียว จาก final filtered air supply ไปสู่ air return inlets โดยตรง โดยห้องสะอาดระบบนี้สามารถเรียกได้อีกว่าเป็นแบบ Laminar flow ระบบลมนี้ส่วนใหญ่จะเป็นใช้กับห้องสะอาดระดับ ISO 5 ขึ้นไป

 

b) แบบลมหลายทิศทางหรือปั่นป่วน (Non - unidirectional Airflow) - เป็นระบบลมที่มีการจ่ายออกมาจากหัวจ่ายลมหรือ final filter ที่ติดตั้งตามจุดต่างๆ ในห้อง โดยในการออกแบบจะกำหนดให้ลมมีทิศทางที่กระจายไปทั่วห้องแล้วจึงเข้าสู่ air return inlets ซึ่งลักษณะลมในรูปแบบนี้อาจเรียกได้ว่าเป็นแบบ Conventional หรือ Turbulently-ventilated ระบบลมนี้ส่วนใหญ่จะเป็นใช้กับห้องสะอาดระดับ ISO 5 ลงมา ซึ่งมีความสามารถในการควบคุมการปนเปื้อนที่น้อยกว่าแบบแรก โดยระดับความสะอาดของห้องจะสามารถเพิ่มได้ด้วยการเพิ่มปริมาณอากาศและจำนวนของหัวจ่ายลมหรือ final filte

 

c) แบบผสมระหว่าง a) และ b) (Mixed Airflow) - เป็นระบบลมที่มีการใช้งานที่มีการประยุกต์จากสองแบบข้างต้น โดยจะเป็นระบบลมแบบ Non - unidirectional แต่มีจุดหรือพื้นที่ที่ต้องควบคุมเป็นพิเศษเพื่อลดการปนเปื้อนที่ใช้ระบบลมแบบ Unidirectional อีกที

สำหรับสภาพการใช้งานต่างๆ ของห้องสะอาดตามมาตรฐาน ISO 14644-1 นั้นสามารถแบบได้ดังนี้

 

1. as-built - สถานะที่มีการติดตั้งระบบสาธารณูปโภคต่างๆ (เช่น ระบบน้ำ ลม ไฟฟ้า แสงสว่าง ฯลฯ) เสร็จสิ้นแล้วแต่ยังไม่มีการติดตั้งเครื่องมือ เครื่องจักร วัตถุดิบ และไม่มีผู้ปฎิบัติงานภายในห้อง 
2. at-rest - สถานะที่มีการติดตั้งที่สมบูรณ์ทั้งหมดแล้วซึ่งรวมถึงเครื่องมือ เครื่องจักรที่จำเป็นและมีการเปิดเครื่องใช้งานแต่ยังไม่มีผู้ปฏิบัติงานอยู่ภายในห้อง โดยในการเปิดเครื่องจักรนั้นอาจขึ้นอยู่การข้อตกลงของผู้ใช้งานด้วย
3. operational - สถานะที่มีการติดตั้งเครื่องมือ เครื่องจักรทั้งหมด มีการใช้งานเครื่องจักร รวมถึงมีผู้ปฏิบัติงานอยู่ภายในห้องตามที่ได้ออกแบบไว้
 

                    การกำหนดสภาพการใช้งานนั้นได้ถูกนำมาใช้ในการกำหนดเงื่อนไขต่างๆ ของระหว่างผู้ออกแบบห้องสะอาด ผู้ใช้งานหรือลูกค้า รวมถึงผู้ตรวจสอบด้วย โดยปกติในการตรวจสอบห้องสะอาดก่อนการใช้งานจริงจะทำการตรวจสอบในสถานะ at-rest และการตรวจวัดแบบ monitoring จะเป็นการตรวจวัดในสถานะ operational

  จากภาพจะแบ่งขั้นตอนที่เกี่ยวข้องกับ Cleanroom ได้เป็น 3 ส่วนใหญ่ๆ ซึ่งจะมีความเกี่ยวเนื่องกับสภาพการใช้งานที่กำหนดตามมาตรฐาน ISO 14644-1 
สำหรับมาตรฐานของ PICs นั้นได้มีการกำหนดการตรวจวัดปริมาณฝุ่นสำหรับระดับความสะอาดต่างๆ ที่สถานะ at-rest และ operational ตังตาราง
 

 

 สำหรับมาตรฐาน PICs นั้นได้อ้างอิงจากมาตรฐาน ISO 14644-1 โดยแบบระดับความสะอาดเป็น Grade ต่างๆ โดย Grade A และ B เทียบเท่า ISO5 Grade C เทียบเท่า ISO7 และ Grade D เทียบเท่า ISO8 แต่ทั้งนี้ PICs ได้กำหนดให้มีการตรวจวัดทั้งสองสถานะคือ at-rest และ operational ยกเว้น Grade D ที่มีการตรวจวัดที่ at-rest เท่านั้น